Новият XY дизайн на етапа позволява критични елементи като ортогоналност, праволинейност и плоскост да бъдат оптимизирани, което води до етап с изключителни геометрични толеранси.Технологията за директно задвижване с линейни серво мотори без ядро няма хистерезис или луфт, което позволява точни и повтарящи се движения в нанометров мащаб както в X, така и в Y посоки.
Безконтактната технология за директно задвижване предлага стабилно, точно и високоскоростно позициониране, необходимо за масово производство на прецизни устройства.Тези XY етапи използват усъвършенствана технология за директно задвижване, за да постигнат най-високо ниво на позициониране.Точното позициониране е осигурено с безконтактен линеен енкодер.Моторът и енкодерите са директно свързани, за да се елиминира обратната реакция.
Характеристиките включват
★Линейни двигатели с директно задвижване
★Разделителна способност до 0,1 микрона
★Повторяемост до 0,25 микрона
★Абсолютна точност до 5 микрона
★Максимална скорост 1,5 м/сек
★Максимално ускорение 1,5 G
★Работен ход 300 х 300 мм
Комбинацията от задвижващи устройства и лагери, опакована в малък профил и отпечатък, предлага осезаеми предимства в много приложения като позициониране с висока точност, производство на дискови устройства, подравняване на влакна, задействане на елемент с оптично забавяне, тестване на сензори и процеси на сканиране, които изискват плавни и прецизно движение.Етапите могат да се комбинират и с други вертикални и въртящи се стъпала.
Време на публикуване: 05 февруари 2023 г